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淄博高新技术产业开发区 MEMS 研究院 淄博高新技术产业开发区 MEMS 研究院(以下简称“ MEMS 研究院”)是由清华大学与淄博高新区管委会于 2010 年共建的研究院,是拥有独立法人机构的全额事业单位,是国内第一家微机电制造领域的校地共建研究院,是全国微纳制造、器件与系统协同创新中心成员单位。 MEMS 研究院与淄博高新区共建的“硅基 MEMS 中试代工平台”(以下简称“ MEMS 平台”)是山东省第一家采用 MEMS 技术批量生产微型传感器的平台, MEMS 平台于 2016 年 5 月 17 日通过国家质量管理体系认证,并于 2016 年 6 月 20 日通过教育部成果鉴定,鉴定成果为国际先进。 MEMS 平台投资 1.6 亿人民币,厂房面积 4996 平,洁净面积达 1500 平,超净面积和规模位居山东省第一、全国前列;拥有德国 SUSS 公司光刻机、奥德利 EVG 公司键合机、英国 SPTS 公司深硅刻蚀机等国际一流的 6 英寸 MEMS 及微纳米代工线设备共计 63 台 / 套,产品的测试环境居国际先进水平,并具备与国际上保持同步更新的能力;现已具备 MEMS 陀螺、加速度计、继电器 / 开关器件标准中试代工初步能力,完成 45 个单项工艺和 19 个产品工艺。 淄博高新技术产业开发区 MEMS 研究院欢迎您!

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